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标签:硅片抛光与研磨区别
硅片抛光与研磨:工艺差异与选择要点
硅片作为半导体集成电路制造的基础材料,其表面质量直接影响到后续工艺的良率和产品的性能。硅片的制备过程中,抛光和研磨是两个关键的工艺环节。那么,这两者之间有何区别?又该如何选择呢?
2026-05-24
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